distributed and continuous PECVD

英 美
  • 分室连续沉积
  • and conj.和；加；接着；那么
  • continuous adj.连续的；继续的；连绵不断的
  • distributed adj.分布的；分散式的distribute的过去式（分词）.
  • PECVD 等离子体增强化学气相沉积

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